熱分解工藝一般分為直燃（TO）、蓄熱燃燒（RTO）、催化燃燒（CO）、蓄熱催化燃燒（RCO）四種，只是燃燒方式和換熱方式的兩兩組合不同，主要是用于處理吸附濃縮氣，也可以用于直接處理廢氣濃度大于3.5g/m3的中高濃度廢氣。

  TO是將高濃度廢氣直接送入燃燒室直接燃燒，高溫燃燒氣通過換熱器與新進廢氣間接換熱后排掉，換熱效率一般低于60%，導致運行成本很高，只有少數能有效利用排放預熱或有副產燃氣的企業中應用。

RTO的燃燒方式和TO相同，只是將換熱器改為蓄熱陶瓷，高溫燃燒與新進廢氣交替進入蓄熱陶瓷換熱，熱利用率達到90%以上，運行成本較低，是目前的主流工藝。

CO是采用貴重金屬催化劑降低廢氣中有機物與O2的反應活化能，使得有機物可以在250-300℃較低的溫度就能充分氧化成CO2和H2O。是無焰燃燒，熱利用率一般低于75%，常用處理脫附后高濃度廢氣。

RCO和CO燃燒方式相同，換熱方式與RTO相同，投資堪比RTO且處理廢氣種類受催化劑影響，種類少于RTO。

綜上所述，這就是現行工藝主要是RTO和CO的原因。那RTO與CO在必選方面又有什么不同呢？

廢氣種類上：含硫磷類廢氣會使CO中毒，不能用CO。忽略少部分硫磷類廢氣的燃燒腐蝕可以限制性使用RTO。兩種工藝都不能處理含鹵代烴廢氣，避免產生二噁英。含硅烷類廢氣使用要注意考慮二氧化硅的堵塞問題。RTO預處理要達到F6級，CO預處理僅需G4 級別。

廢氣濃度來說：通常溫度的提高會降低有機物的爆炸下限，需控制廢氣進口濃度低于25%LEL。CO可以通過控制溫度和進口廢氣濃度而達到熱平衡而不需要額外能源。RTO則一直需要一個長明火點燃廢氣。

廢氣流量而言：單套RTO流量為8000-50000m3/h，單套RCO流量為1000-20000m3/h

儀表自控來說：RTO需要更多的儀表監控和控制設備，CO則只有簡單的溫度連鎖，自控要求較低。

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