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含氟廢氣處理工藝選擇-鑫藍(lán)環(huán)保

文章出處：原創(chuàng)網(wǎng)責(zé)任編輯：蔡作者：蔡人氣：-發(fā)表時(shí)間：2025-04-29 00:00:00【大中小】

針對(duì)含氟廢氣處理工藝選擇需綜合考慮廢氣成分、濃度、排放標(biāo)準(zhǔn)、經(jīng)濟(jì)性及資源回收需求等因素。以下是常見(jiàn)的處理工藝及其適用場(chǎng)景分析：

一、含氟廢氣類型與危害

含氟廢氣主要來(lái)源于：氟化工生產(chǎn)（如HF、SiF?、CF?等）；電解鋁/磷肥行業(yè)（以HF為主）；半導(dǎo)體/光伏制造（NF?、SF?等含氟氣體）；制冷劑/發(fā)泡劑（氟利昂類物質(zhì)）。

主要危害：腐蝕設(shè)備、污染大氣、引發(fā)酸雨，部分氟化物（如HF）具有強(qiáng)毒性和生物累積性。

二、工藝選擇建議

1.酸性氟化物（HF、SiF?）

推薦工藝：濕法吸收+干法吸附組合

步驟：①一級(jí)處理：NaOH溶液噴淋（生成NaF溶液）；②二級(jí)處理：CaCl?沉淀（生成CaF?污泥）；③深度處理：活性氧化鋁吸附（確保達(dá)標(biāo)排放）。

優(yōu)勢(shì)：去除率>99%，適用于電解鋁廠、磷肥廠等高濃度場(chǎng)景。

2.含氟有機(jī)廢氣（CF?、HFCs）

推薦工藝：高溫焚燒+SCR脫硝

步驟：①焚燒爐分解為CO?、HF；②急冷塔降溫；③堿液吸收HF；④SCR催化還原NOx。

優(yōu)勢(shì)：滿足《危險(xiǎn)廢物焚燒污染控制標(biāo)準(zhǔn)》（GB18484）。

3.半導(dǎo)體行業(yè)特種氣體（NF?、SF?）

推薦工藝：等離子體裂解+堿洗

步驟：①等離子體反應(yīng)器將NF?分解為N?和F?；②堿液吸收F?生成NaF。

優(yōu)勢(shì)：處理效率>98%，適用于低濃度、高價(jià)值氣體回收。

三、關(guān)鍵設(shè)計(jì)參數(shù)

濕法吸收：

液氣比（L/G）：5~10 L/m³；

pH控制：8~10（防止設(shè)備腐蝕）。

干法吸附：

空塔氣速：0.3~0.6 m/s；

吸附劑更換周期：3~6個(gè)月。

燃燒法：

停留時(shí)間：≥2秒（確保完全分解）；

燃燒溫度：≥1100℃（針對(duì)全氟化合物）。

鑫藍(lán)環(huán)保科技（昆山）有限公司多年來(lái)專注于含氟廢氣處理設(shè)計(jì)、制造和安裝。我們產(chǎn)品有RTO蓄熱焚燒、RCO蓄熱催化燃燒、CO催化燃燒、TO直燃爐、有機(jī)廢氣處理設(shè)備、冷凝回收、防爆除塵器、酸堿廢氣處理、濾筒除塵器、防爆除塵器、單機(jī)除塵器、倉(cāng)頂除塵器、旋風(fēng)除塵器、洗滌塔、活性炭吸附箱、靜電除油設(shè)備等。